一、電控柜的操作
1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源
2、開總電源
3、開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。
4、開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。
二、DEF-6B電子槍電源柜的操作
1、總電源
2、真空鍍膜設備同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:汽車玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關,延時、電源及保護燈亮,三分鐘后延時及保護燈滅,若后門未關好或水流繼電器有故障,保護燈會常亮。
3、開高壓,高壓會達到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。
三、關機順序
1、關高真空表頭、關分子泵。
2、待分子泵顯示到50時,依次關高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。
3、到50以下時,再關維持泵。
鍍膜機常見故障及處理方法
檢測不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號:
1、檢查翻面信號源位置
2、將翻面輸入信號人工短接,使用翻面檢測功能,計算機能檢測到信號時,證明問題在翻面控制開關上,根據(jù)情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路,然后更換控制卡。
掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:
1、檢查翻板的初始位置是否符合時機
2、檢測翻面控制開關工作是否穩(wěn)定,可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測。
3、檢查翻轉(zhuǎn)機構(gòu)動作是否靈活可靠
4、檢查翻面信號次數(shù)設置
5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺是否與鐘罩內(nèi)壁有摩擦現(xiàn)象
6、檢測旋轉(zhuǎn)工作臺在轉(zhuǎn)動時的穩(wěn)定性
在同一掩膜夾具頻率散差大:
1. 檢查晶片本身是否散差大
2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調(diào)節(jié)修正板
3.檢查一下?lián)醢逶陂_、關時是否完全遮擋住鉬舟
4.檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟
5、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟
鍋與鍋之間頻率散差大:
1、觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象
2、反復測量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性(不超過75Hz)
3、檢查冷卻水是否通暢
4、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟
5、監(jiān)控片選用是否符合要求,建議采用我公司的監(jiān)控片
鍍膜頻率不停止:
1、檢查頻率參數(shù)設置是否正確
2、鉬舟電流表是否有指示
3、鉬舟中是否有銀
4、監(jiān)控片是否跳頻
5、修正系數(shù)是否錯誤
6、在出現(xiàn)非正常退后是否更換過監(jiān)控片
測試不到頻率:
1、更換一下監(jiān)控片
2、檢查一下測試彈片是否變形
3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率,若有頻率證明是探頭問題,若無頻率,用計數(shù)器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常,無正常輸出證明振蕩器有問題,有正常輸出但計算機無顯示證明控制卡有問題
控制閥均不動作:
1. 檢查5V電源是否有輸出,是否接好
2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電
控制閥個別不動作
1、檢查相應的固態(tài)繼電器是否有輸出
未達到真空度就工作:
1、數(shù)字真空計出現(xiàn)不正常數(shù)字,且30秒內(nèi)無變化,例如0.00-4(國產(chǎn)真空計常見)現(xiàn)象
2、指針表在真空計打開30秒后,黑色指針仍不擺動
監(jiān)控片使用原則
1、監(jiān)控片表面要清洗干凈
2、監(jiān)控片要隨用隨鍍,空氣中暴露12小時以上禁止使用
3、監(jiān)控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用
4、使用過程中要記錄好使用批次,嚴禁出現(xiàn)新舊混用
5、監(jiān)控片反復使用壽命為3次。